未来智造局丨国产半导体设备步入创新“无人区”——访微导纳米CTO

新华财经上海1月13日电（记者 王鹤）我国半导体设备的国产化进程正加速推进，展现出强劲的发展韧性与势头。国产半导体设备企业实现了哪些成绩？未 来的方向是什么？带着这些问题，记者近日专访了微导纳米（688147.SH）副董事长兼CTO黎微明。 国产半导体设备迎来爆发期 订单翻倍增长 "半导体国产替代正在深度推进，国产设备需求迎来爆发。"黎微明说，微导纳米自2018年正式启动在半导体专用设备领域的拓展，这不仅是蓝海市场，也是 国家科技安全的必争之地。 据介绍，2020年，微导纳米将自研量产的原子层沉积设备应用于28纳米节点集成电路前道生产线，打破了国际设备商的垄断，填补了国内空白，设备关键指 标达到国际先进水平。在化学气相沉积（CVD）领域，2023年微导纳米开发的硬掩膜CVD设备成为国内首批进入存储芯片3D封装高端产线的国产设备，并 持续获得批量订单。目前，微导纳米的半导体设备已覆盖逻辑芯片、存储芯片、先进封装、化合物半导体等多个高端应用领域。 半导体设备进入原始创新阶段 技术研发步入"无人区" 黎微明透露，微导纳米依托创新保持市场和技术领先地位，研发投入占比接近25%，且长期以来坚持高研发投入。持续创新是驱动 ...