“关键里程碑”，阿斯麦：新一代EUV光刻机已准备好量产芯片

【文/观察者网 柳白】芯片制造迎来重大突破？路透社2月26日引述荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）一 位高管的话透露，该公司新一代芯片制造设备已准备就绪，可交付芯片制造商投入大规模使用，这对芯 片行业而言是重大进展。 阿斯麦是全球唯一能生产商用极紫外（EUV）光刻机厂商，而EUV设备是芯片制造商不可或缺的关键 装备。 阿斯麦数据显示，这款被称为高数值孔径极紫外光刻机（High-NA EUV）的新一代设备，可省去芯片 制造中多个成本高昂、工艺复杂的步骤，帮助台积电、英特尔等企业生产性能更强、能效更高的芯片， 标志人工智能（AI）芯片生产迎来关键转变。 阿斯麦首席技术官马尔科·皮特斯向路透社表示，公司计划26日在一场技术会议上公布新设备相关数 据，这标志着一个关键里程碑。 据悉，阿斯麦耗时多年才研发出这款造价高昂的新一代设备，芯片厂商也一直在评估在何种阶段将其用 于大规模生产在经济上才具备可行性。 皮特斯表示，根据阿斯麦的数据，新一代设备停机时间已大幅减少，累计生产了50万片餐盘大小的硅 片，且能在芯片上刻画出精度足够的电路图案。这三项指标共同表明，设备已具备量产条件。 阿 斯麦生产的极紫外光刻机 阿斯麦官网 "我 ...