昊华科技：公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳等

（文章来源：证券日报） 证券日报网2月27日讯 ，昊华科技在接受调研者提问时表示，公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、 四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等，主要应用于集成电路制造的 清洗、刻蚀、离子注入、化学气相沉积等制程工艺。 ...