中微公司2025年度归母净利润约21.11亿元，增加约30.69%

到2025年底，公司累计已有超过7,800个反应台在国内外170余条客户芯片及LED生产线全面量产，其中 刻蚀设备反应台全球累计出货超过6,800台。公司的CDP产品部门为先进存储器件和逻辑器件开发的 LPCVD,ALD等十多款导体和介质薄膜设备已经顺利进入市场，并且设备性能完全达到国际领先水平， 薄膜设备的覆盖率不断增加。公司EPI设备研发团队已经开发出具有自主知识产权及创新的平台，目前 减压EPI设备已付运成熟制程客户进行量产验证，该种设备同时也付运至先进制程客户进行验证，部分 先进工艺已进入量产验证阶段;新一代高选择比预清洁腔体满足先进工艺的需求，已在客户端进行量产 验证;常压外延设备现已完成开发，进入工艺验证阶段。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合 物半导体外延设备，已陆续付运至客户端进行验证。 公告显示，公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻 辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现了稳定可靠的大规模量产。其中 CCP方面，公司用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，能够全面覆盖存储器刻蚀应 用中各类超高深宽比需求;IC ...