半导体设备国产替代趋势月度跟踪：5月气液系统招标量居多，清洗设备国产化中标比例领先

[Table_Page] 深度分析|半导体 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备国产替代趋势月度跟踪 5 月气液系统招标量居多，清洗设备国产化中标比例领先 [Table_Summary] 核心观点： ⚫ 5 月合计 39 项招标，以华虹、积塔、中芯国际招标为主，招标设备主 要包括气液系统、测试机、量测设备等品类。根据采招网的数据，2024 年 5 月，统计样本中的晶圆产线合计产生 39 项招标。以华虹半导体、 积塔半导体、中芯国际等产线招标为主。招标设备主要包括气液系统、 测试机、量测等品类。2024 年 1-5 月，统计样本中的晶圆产线合计招 标 243 项，其中，华虹半导体、积塔半导体、燕东科技的招标量位居 前三。整体而言，设备招标以量测、测试机、刻蚀为主。 ⚫ 5 月合计 15 项中标，以测试机、炉管、探针台设备居多，国产设备整 体中标比例约 7%，清洗设备的国产中标比例显著。中标方面，根据采 招网的数据，2024 年 5 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标 15 台 设备，以测试机、炉管、探针台设备居多；国产设备整体中标比例约 7%，其中，清洗设备的国产中标比例显著。2024 年 1- ...