微导纳米:江苏微导纳米科技股份有限公司关于自愿披露公司发布新产品的公告

二、新产品对公司的影响 公司在半导体领域已推出包括 iTomic 系列原子层沉积系统、iTomic MW 系 列批量式原子层沉积系统、iTomic PE 系列等离子体增强原子层沉积系统、iTronix 系列化学气相沉积系统等系列产品，现有产品能够对逻辑芯片、存储芯片、化合 物半导体、新型显示（硅基 OLED）中的薄膜沉积应用实现较为全面的覆盖，公 司目前产品已经覆盖 HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、TiN、TiAl、 证券代码：688147 证券简称：微导纳米 公告编号：2024-044 江苏微导纳米科技股份有限公司 关于自愿披露公司发布新产品的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 一、新产品基本情况 近期，公司在"第十六届集成电路封测产业链创新发展论坛（CIPA 2024）" 上首次发布了自主研发的"先进封装低温薄膜应用解决方案"。该方案针对半导 体领域 2.5D 和 3D 先进封装技术的低温工艺特殊需求而设计，能够在 50~200°C 的低温温度区间内实现高均匀性 ...