中微公司：全年营收预计维持高增速，着力推进薄膜设备研发

全年营收预计维持高增速，着力推进薄膜设备研 2025 年 01 月 15 日 公司研究●证券研究报告 中微公司（688012.SH） 公司快报 公司主营产品的刻蚀设备、薄膜设备是半导体前道关键核心设备，市场空间广阔， 技术壁垒较高。公司的刻蚀设备及薄膜设备持续获得众多客户的认可，针对芯片制 造中关键工艺的高端产品新增付运量及销售额显著提升。 刻蚀：公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑 和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升。CCP 方面，2024 年前三季度交付超 1000 个反应台，累计交付超 3800 个反应台；先进逻辑器件中 段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。ICP 方面， Primo-Twin Star®在多个客户获得重复订单；在先进逻辑和存储芯片中关键 ICP 刻 蚀工艺的高端 ICP 设备付运大幅提升。 薄膜沉积：公司近两年新开发的 LPCVD 薄膜设备和 ALD 薄膜设备，目前已有多 款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD 薄膜设备累计出货量 已突破 100 个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利 ...