EDA工具:贯穿芯片落地全流程,国产企业蓄势待发
证券研究报告 | 行业深度 gszqdatemark 2026 01 23 年 月 日 制造 EDA 是集成电路生产过程中的核心环节。一个完整的集成电路设计 和制造流程主要包括工艺平台开发、集成电路设计和集成电路制造三个阶 段。集成电路企业需要使用 EDA 工具完成设计和制造的过程。制造 EDA 是集成电路生产过程中的核心环节。在晶圆厂 包括晶圆代工厂、 IDM 制 造部门等)工艺平台开发阶段,通过制造 EDA 建立半导体器件的模型并通 过 PDK 或建立 IP 和标准单元库等方式提供给集成电路设计企业 包括芯 片设计公司、半导体 IP 公司、IDM 设计部门等);在晶圆生产阶段,从版 图到掩模的数据转换过程中,需要制造 EDA 对光刻过程中的光学邻近效 应进行补偿和修正、建立详细的结构器件模型、良率修正等。根据制造 EDA 所解决的技术类别不同,制造 EDA 可分为六大部分:工艺平台开发阶段, 可分为工艺与器件仿真工具 TCAD)、器件建模及验证工具、工艺设计套 件工具 PDK);晶圆生产制造阶段,可分为计算光刻软件、可制造性设 计 DFM)、良率控制工具,其中计算光刻软件是晶圆生产阶段的核心工 具。根据我 ...