机械设备行业跟踪周报：看好高景气的半导体设备、光模块设备，推荐回调较多、宇树上市强催化的人形机器人-20260329

证券研究报告·行业跟踪周报·机械设备 机械设备行业跟踪周报 看好高景气的半导体设备&光模块设备；推 荐回调较多&宇树上市强催化的人形机器人 增持（维持） [Table_Tag] [1.Table_Summary] 推荐组合：北方华创、三一重工、中微公司、恒立液压、中集集团、拓荆科技、海天 国际、柏楚电子、晶盛机电、杰瑞股份、浙江鼎力、杭叉集团、先导智能、长川科技、 华测检测、安徽合力、精测电子、纽威股份、芯源微、绿的谐波、海天精工、杭可科 技、伊之密、新莱应材、高测股份、纽威数控、华中数控。 2.投资要点： 【半导体设备】SEMICON 期间多家公司推出新品，看好设备商平台化布局加速 2026 年 3 月 25-27 日 SEMICON 展会期间多家龙头设备商推出重磅新品与技术升级方 案。北方华创推出了全新一代 12 英寸 NMC612H 电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备、 12 英寸 Qomola HPD30 混合键合设备、高深宽比 TSV 电镀（ECP）设备 Ausip T830 等，其中 12 英寸 NMC612H 电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备将 ICP 小尺寸刻蚀的 深宽比提升到数百比一，均匀 ...