半导体设备行业国产替代趋势月度跟踪：3月设备招标环比增长显著，国产设备中标比例快速提升

[Table_Page] 深度分析|半导体 证券研究报告 [半Table_导Title] 体设备国产替代趋势月度跟踪 [Table_G行rade] 业评级 买入 前次评级 买入 3 月设备招标环比增长显著，国产设备中标比例快速提升 报告日期 2024-05-23 [Table_Summary] 核心观点： [相Tab对le_P市icQ场uote表] 现 ⚫ 3 月合计 127 项招标，以华虹、积塔、中芯国际招标为主，招标设备 4% 主要包括量测、刻蚀和CVD设备等品类。根据采招网的数据，2024年 -4%05/23 08/23 10/23 12/23 03/24 05/24 3 月，统计样本中的晶圆产线合计产生 127 项招标。以华虹半导体、 -11% 积塔半导体、中芯国际等产线招标为主。招标设备主要包括量测、刻蚀 -19% -26% 和 CVD 设备等品类。2024 年 1-3 月，统计样本中的晶圆产线合计招 -34% 标 166 项，其中，华虹半导体、积塔半导体、燕东科技的招标量位居 半导体 沪深300 前三。整体而言，设备招标以量测、刻蚀、CVD设备为主。 ⚫ 3 月合计 108 项中标，以气液系统、检 ...