都2026年了，为什么ASML还在研究“上一代”DUV？

今天你手机里那颗最先进的3纳米芯片 大部分电路还是靠“老机器”印出来的 这似乎不合常理 但是在芯片领域 ASML就是在做这样的事情 它的上一代DUV光刻机 至今生产着全球绝大多数芯片 哪怕是最先进的、用EUV制造的芯片 也离不开DUV 既然它如此核心 为什么我们总是在谈论更加前沿的EUV DUV的能力还有多少能够被挖掘的 这次我们有幸和ASML的工程师 深度去聊了聊 看一下DUV光刻机到底还有多少潜力 而ASML又如何去挖掘这些潜力的 继续钻研DUV主要有三个原因 我们先来解析一下 为什么EUV出来之后 芯片生产依然离不开DUV 芯片就像一栋超复杂的大楼 它不是一层 而是由几十甚至上百层结构堆叠起来的 同时 有的芯片集成了多种功能 例如手机厂商使用的SoC（System on Chip） 会将CPU、GPU、基带 内存控制器等等芯片集成到一起 其中 只有最精细、最关键的几层 到二十多层的电路会动用到EUV 而其他电路用DUV完全能够胜任 这个比例有多夸张呢 ASML的工程师就告诉我们 在先进芯片生产当中 DUV的占比甚至可以达到90% 而主流市场则是全部采用DUV 所以第一个原因就是 直到目前 DUV依然是芯 ...