Workflow
存储路线图,三星最新分享
半导体行业观察·2025-05-24 01:43

如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 在日前举办的"IMW 2025"上,三星电子关于下一代 DRAM 和下一代 NAND 闪存的演变。 10nm代(1X代及以后)的DRAM单元基本维持上述结构,但通过改进电容结构、字线材料等延续 了七代,依次称为"1X→1Y→1Z→1A→1B→1C→1D"代。不过,下一代"0A"代(10nm以下第一 代)将无法维持"6F2"布局,有很大机会转向"4F2"布局。 10nm 以下 DRAM ,如何实现 实现"4F2"布局的单元晶体管的基本结构是沟道垂直排列的结构。它被称为"VCT(垂直沟道晶体 管)"。位线、沟道(侧面有字线)和电容器从基板侧垂直排列。 在DRAM部分,三星首先回顾了DRAM单元多年来的演变。 在 1990 年代,平面 n 沟道 MOS FET 是单元选择晶体管(单元晶体管)的标准。然而,进入21 世纪,短沟道效应和关断漏电流已变得无法忽视。一种在不缩短沟道长度的情况下使横向(水平) 方向微型化的晶体管结构被设计出来并被用于DRAM单元晶体管。随着光刻技术的不断缩小, DRAM单元的面积可以不断缩小。 与此同时,DRAM 单元阵列布局在 2010 年代得到了 ...