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存储路线图,三星最新分享
半导体芯闻·2025-05-26 10:48

如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 在日前举办的"IMW 2025"上,三星电子关于下一代 DRAM 和下一代 NAND 闪存的演变。 在DRAM部分,三星首先回顾了DRAM单元多年来的演变。 在 1990 年代,平面 n 沟道 MOS FET 是单元选择晶体管(单元晶体管)的标准。然而,进入21 世纪,短沟道效应和关断漏电流已变得无法忽视。一种在不缩短沟道长度的情况下使横向(水平) 方向微型化的晶体管结构被设计出来并被用于DRAM单元晶体管。随着光刻技术的不断缩小, DRAM单元的面积可以不断缩小。 与此同时,DRAM 单元阵列布局在 2010 年代得到了改进。 DRAM单元的尺寸是根据设计规则 (或最小加工尺寸)"F:特征尺寸"进行比较的。原则上,可能的最小单元是 2F(垂直尺寸)x 2F(水平尺寸)= 4F2,但这极难实现。 2010年代,通过改进DRAM单元阵列的布局,单元面积从传统的"8F2"缩小到"6F2"。即使加工尺 寸相同,单元面积也减少了25%。这种"6F2"布局至今仍是大容量DRAM使用的标准。 在"6F2"布局中,通过将字线和沟道嵌入到衬底中,单元晶体管的面积得以减小。源极和漏极水 ...