国产半导体设备，重要突破

公众号记得加星标⭐️，第一时间看推送不会错过。 求点赞 求分享 求推荐 推荐阅读 *免责声明：本文由作者原创。文章内容系作者个人观点，半导体行业观察转载仅为了传达一种不同的观点，不代表半导体行业观察对该 观点赞同或支持，如果有任何异议，欢迎联系半导体行业观察。 END 今天是《半导体行业观察》为您分享的第 4291 期内容，欢迎关注。 加星标⭐️第一时间看推送 据科技日报报道，由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机 （POWER-750H）成功出束，核心指标达到国际先进水平。这标志着我国已全面掌握串列型高能氢 离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链中的关键环节，为推动高端制造装备自主可 控、保障产业链安全奠定坚实基础。 离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造"四大核心装备"，是半导体制造不可或 缺的"刚需"设备。长期以来，我国高能氢离子注入机完全依赖国外进口，其研发难度大、技术壁垒 高，是制约我国关键技术产业升级发展的瓶颈之一。 中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累，以串列加速器技术作为核心手 段，破解一系列难题，完全掌握了串列 ...