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台阶流动生长法
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日企开发出全球最大级别的金刚石基板
日经中文网· 2025-03-30 02:35
据Orbray表示,该公司自主开发出了使金刚石晶体在"特殊蓝宝石基板"上生长的技术。 这项研究成果已于3月14日在应用物理学会春季学术演讲会上发表。 金刚石的晶体结构是以碳原子为顶点的立方晶格扩展。基板表面主要有两种类型,一种由相当于 晶体结构侧面的"(100)面"构成,另一种由斜截面 "(111)面"构成。 斜截面类型虽然适用于电子等工业应用领域,但存在尺寸难以增大的课题。 日本精密零部件制造企业Orbray开发出了适用于电子产品的全球最大级别金刚石基板,尺寸为2 厘米见方。今后将增大至2英寸直径,争取2026年面向功率半导体及量子计算机等用途实现产品 化…… 日本精密零部件制造企业Orbray开发出了适用于电子产品的全球最大级别金刚石基板。 尺寸为2厘米见方。今后将增大至2英寸(约5厘米)直径,争取2026年面向功率半导体及量子计 算机等用途实现产品化。 该公司并未公布这项技术的详情,但被认为是"台阶流动生长法(step-flowgrowth)"的改良版, 该方法通过在略微倾斜的蓝宝石基板上生长晶体,来减轻施加在金刚石晶体上的应力。 版权声明:日本经济新闻社版权所有,未经授权不得转载或部分复制,违者必究。 ...