Review SEM 设备也称为缺陷复检设备（ DR-SEM ），属于电子束检测设备类别。电子束检测设备除了 DR-SEM 外，还包括了电子束缺陷检测设 备 (EBI) 。 Review SEM 设备是一种集成了传统扫描电子显微镜（ SEM ）成像功能与自动化缺陷复查系统的高端设备，广泛应用于半导体晶圆制造、光掩模 （ Photomask ）检测以及高精密器件生产中的质量控制环节。该设备能够对检测设备（如检测机、缺陷检测系统）预先标记出的微缺陷进行高分 辨率图像采集与自动识别，实现对缺陷类型、尺寸、形貌的分类、分析和记录。与普通 SEM 相比， Review SEM 通常具备自动导航、高通量图像 采集、 AI 缺陷分类、与 FAB 生产系统联动等功能，是晶圆厂中缺陷源头追溯、工艺优化和良率提升不可或缺的关键工具。注：本文中国市场仅 统计中国大陆，中国台湾地区单独统计。 Review SEM设备行业背景与发展历史 行业背景 Review SEM（Review Scanning Electron Microscope，复检扫描电子显微镜）是半导体制造流程中缺陷分析与工艺监控的关键设备。它不直接用于 生产，但对制程 ...