摘要： Filmetrics®成立于1995年，2019年加入KLA，专注薄膜厚度及方块电阻测量。凭借高光谱成 像、AutoBaseline™等技术，广泛应用于半导体、光电等领域。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我 们的推送。 我们今天课程的主角， 它是一个世界知名的仪器品牌， 它在薄膜厚度和方块电阻测量领域称霸了很多年，它成立于1 9 9 5年，于2 0 1 9年加入了KLA大 家庭，并成为KLA Inst rumentsTM业务的一部分， 它就是Filme t r i c s® ， 是什么让它在这个细分领域占据一席之地，答案就在它的发展史中。 1 9 9 5 Filme tri c s® F2 0 诞生 – 世界上少有的小巧紧凑、易于使用的薄膜测量仪器。 F2 0 是使用微型光纤光谱仪来测量薄膜厚度的仪器. 利用相干干涉产生的特征标志，分析从涂 有薄膜的表面反射的白光以测量薄膜厚度。 F2 0 易于使用且结构紧凑，借助桌面式个人计算机 和现代化的用户图形界面软件迅速增长的计算能力，使得以前因使用其他应用程序无法准确测 量薄膜的用户可 ...