可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺

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凯尔达:关于控股子公司获得发明专利的自愿性披露公告
Zheng Quan Ri Bao· 2025-09-15 11:45
证券日报网讯 9月15日晚间,凯尔达发布公告称,控股子公司杭州凯维力传感科技有限公司近期获得1 项国家知识产权局颁发的发明专利证书,专利名称为"可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工 艺"。 (文章来源:证券日报) ...
凯尔达:控股子公司获得发明专利
Zheng Quan Shi Bao Wang· 2025-09-15 08:01
人民财讯9月15日电,凯尔达(688255)9月15日晚间公告,公司控股子公司杭州凯维力传感科技有限公司 于近期收到1项国家知识产权局颁发的发明专利证书,发明专利名称为可自校准的SOI基MEMS三维力 传感器及其制备工艺。 ...