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显示器离子注入设备
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传韩国已完成显示用离子注入设备技术开发
WitsView睿智显示· 2025-09-16 07:24
9月15日,据韩媒ETnews报道,由韩国政府推动的显示用离子注入设备开发项目已完成。该项目 于2021年启动,原定于去年12月结束,后延期至今年6月,历时四年。 回溯项目背景,韩国产业通商资源部曾于2020年宣布,将扶持国内中小型设备公司的开展技术研 发,实现离子注入设备的国产化。其中,三星显示和LG Display作为需求方参与其中,为设备性 能评估和商业化提供支持。 综合采访消息显示,该项目已收官。具体而言,针对三星显示器的项目由HNiruja负责,而针对LG 显示器的项目则由AVACO主导开发设备。值得一提的是,AVACO为应对下一代投资需求,已开发 出可兼容8.6代基板玻璃的离子注入设备。 据悉,显示器离子注入设备将大电流施加于低温多晶硅 (LTPS) 并注入离子,使其转化为低电阻的 导电材料。近年来,由于氧化物薄膜晶体管(TFT)也逐渐采用离子注入技术以提升电子迁移率, 该类设备的应用前景预计将进一步拓宽。此外,它还是用于改善OLED面板导电性能工艺中的核心 设备。 长期以来,离子注入设备完全依赖日本企业供应。 目前,韩国国内显示器企业的主力生产线——6 代线,均采用了日新公司的离子注入设备。 韩 ...