导读： 华中科技大学发布多批政府采购意向，其中仪器设备品目32项，预算总额达2.71亿元。 特别提示 微信公众号机制调整，请点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我们的推送。 近日，华中科技大学发布3 2项仪器设备采购意向，预算总额达2 . 7 1亿元，涉及8英寸介质刻蚀机、氧化物电介质磁控溅 射仪、晶圆键合机、化学链燃烧源头碳捕集子系统、往复泵泵体等，预计采购时间为2 0 2 5年1~11月。 | 采购 | 需求概况 | 预算 | 采购 | | --- | --- | --- | --- | | 项目 | | 万元 | 时间 | | | 拟购8英寸介质刻蚀机1台，该设备利用化学反应和物理离 | | | | | 子轰击去除硅片表面的材料来实现高精度图形化。晶圆尺 | | | | | 寸：8英寸向下兼容；片内不均匀性：<5%；片间不均匀 | | | | 8英寸介质 | 性：<5%；刻蚀形貌：85°±5°。服务要求：设备安装调试 | 450 | 2025年 | | 刻蚀机 | | | 4月 | | | 后，提供不少于3个工作日的技术培训服务；所有硬件一 | | | | | ...