300mm双面光电晶圆测试设备
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未知机构:中信通信罗博特科下一个泰瑞达光学测试有着远高于电学测试的护-20260123
未知机构· 2026-01-23 02:20
【中信通信】罗博特科:下一个泰瑞达 光学测试有着远高于电学测试的护城河: 1、更高精度要求:电学探针在测试时误差可以到~5um,但是光学测试误差如果达到0~5um,光衰减就要达到50% 以上,而目前光纤阵列通道达到几十上百根; 2、更多的控制维度:电探针的控制通常只有XYZ三个维度(3轴),而光学探针的对准需要额外上下俯仰+左右倾 斜+同轴旋转三个维度(6维),因此控制难度大幅增加; 【中信通信】罗博特科:下一个泰瑞达 光学测试有着远高于电学测试的护城河: 1、更高精度要求:电学探针在测试时误差可以到~5um,但是光学测试误差如果达到0~5um,光衰减就要达到50% 以上,而目前光纤阵列通道达到几十上百根; 2、更多的控制维度:电探针的控制通常只有XYZ三个维度(3轴),而光学探针的对准需要额外上下俯仰+左右倾 斜+同轴旋转三个维度(6维),因此控制难度大幅增加; 3、需要主动对准:这个是最核心的护城河,因为芯片对准后的点胶固化后的体积变化、使用中的温度变化都会造 成微米级的偏差,以上需要大量的经验,数据和算法进行预判; 罗博特科子公司Fi-c-o-n-T-EC:成立于2001年,总部位于德国下萨克森州Ac- ...