盛美上海20250515

盛美上海 20250515 摘要 • 盛美上海一季度营收增长强劲，单片清洗设备和半导体清洗设备营收同比 增长 28%至 9.2 亿元，占总营收 70%以上，主要受益于超声波清洗设备 放量和背面清洗设备稳健表现，高温 SPM 设备已通过领先逻辑客户验证。 • 电镀技术领域营收同比增长 110%至 2 亿多元，占比近 20%，Ultra ECPAP 荣获美国 3D 封装奖项，公司是业内首家也是唯一一家采用旋转式 水平电镀结构方案供应商，受益于 AI 芯片封装向面板级封装技术迁移。 • 炉管产品方面，立式炉管设备采用独有石英结构设计，具备最高 1,250 度 处理能力，保持晶圆表面平整度，业内尚无其他厂商能在此温度实现工艺 稳定性，LDCVD 氧化炉和 ALD 等炉管系列预计 2025 年显著放量。 • 先进封装及其他后道处理业务营收同比增长 60%至 1 亿多元，占比近 10%，处于技术验证和市场拓展阶段，镜面及面板级封装产品按计划推进 交付和测试，为 AI 芯片封装更大规模应用打下基础。 • ETCH 和 PECVD 两款新产品采用自主研发差异化设计，提升工艺灵活性 和产出效率，已与多家客户开展样机演示和测试， ...