胜科纳米申请半导体芯片样品截面定位研磨专利，达到机械研磨精确定位

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体芯片样品截面的定位研磨系统及方法，待研磨半导体芯片样品 的表面设置有目标研磨位置和研磨标记；研磨标记包括位于目标研磨位置第一侧的第一研磨标记和位于 目标研磨位置第二侧的第二研磨标记；第一研磨标记和第二研磨标记均包括沿第一方向排列的多排标记 图形组；每排标记图形组包括至少一个标记图形，相邻两排标记图形组中的标记图形数量不同，光学显 微镜用于实时观察待研磨半导体芯片样品的研磨进度；研磨组件用于根据目标研磨位置和研磨标记对待 研磨半导体芯片样品进行研磨。本发明提供的定位研磨系统通过在待研磨半导体芯片样品的表面设置多 个研磨标记，来实时提醒工作人员的研磨进度，以期达到机械研磨的精确定位。 来源：金融界 天眼查资料显示，胜科纳米（苏州）股份有限公司，成立于2012年，位于苏州市，是一家以从事专业技 术服务业为主的企业。企业注册资本36298.0337万人民币，实缴资本36298.0337万人民币。通过天眼查 大数据分析，胜科纳米（苏州）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目39次，财产线索 方面有商标信息52条，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可24个。 金融界2025 ...