马斯克确认：将建2nm晶圆厂！但他想在里面抽雪茄、吃汉堡！

现代晶圆厂是一个大型的、一体化的制造设施，包括超洁净的生产洁净室（用于晶圆加工）；设有真空泵、气体处理和排气系统；用于维护和公用设施的 专用工具服务走廊；集中式化学品输送和废物管理基础设施；以及用于行政工作、工程和监控的办公和控制区域。 同时，洁净室本质上是晶圆厂建筑内的独立单元，因为它们与晶圆厂外壳的其他部分完全隔离。洁净室的洁净度由ISO 等级标准规定，该标准定义了不同 粒径的颗粒每立方米空气中的颗粒数量。例如，ISO 1 级洁净室每立方米空气中最多允许 10 个 ≥0.1 µm 的颗粒和 2 个更大的颗粒；而 ISO 2 级洁净室每立 方米空气中最多允许 100 个 ≥0.1 µm 的颗粒和 38 个更大的颗粒。晶圆制造最关键的操作——例如 EUV 或 DUV 光刻曝光或先进的栅极形成——都在 ISO 1 级和 2 级洁净室中进行。相比之下，ISO 3 级洁净室每立方米空气中最多允许 1000 个 ≥0.1 µm 的颗粒，这仍然比典型的晶圆厂环境洁净得多，并且通常 用于对洁净度要求不高的操作的先进晶圆厂。 显然，当前在光刻等核心环节所需的ISO 1-3级洁净室环境中吸烟或吃汉堡是绝对禁止的，因为这会产生 ...