微导纳米：发布先进封装低温薄膜沉积系统，看好公司ALD&CVD设备快速放量

证券研究报告·公司点评报告·光伏设备 增持（维持） ◼ 公司产品线已基本实现对泛半导体薄膜沉积设备各品类的全面覆盖：公 司现有的 ITomic 系列 ALD 系统、MW 批量式沉积系统、ITronix CVD 系统等产品能够对逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示（硅 基 OLED）中的薄膜沉积应用实现较为全面的覆盖，公司目前产品已经 覆盖 HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、TiN、TiAl、TaN、 AlN、SiN、SiON、SiCN、无定形碳、SiGe 等多种薄膜材料。随着微导 产品矩阵持续丰富，公司将受益于国内半导体先进制程扩产。同时，通 过拓宽产品的应用场景，能有效降低单一行业周期性波动给公司带来的 不利影响。 ◼ 盈利预测与投资评级：考虑到公司订单与新品拓展情况，我们维持微导 纳米 2024-2026 年归母净利润分别为 6.3/8.3/9.2 亿元，当前股价对应动 态 PE 分别为 17/13/12 倍，维持"增持"评级。 证券分析师 周尔双 执业证书：S0600515110002 021-60199784 zhouersh@dwzq.com.cn 研究助 ...