微导纳米2023年业绩快报点评：订单饱满，半导体CVD设备获批量订单

| --- | --- | --- | --- | |----------|-------|-------|-------| | | | | | | 报告要点 | | | | SAC：S0490517110001 SAC：S0490520030003 SFC：BRP550 相关研究 [Table_Summary2] 事件描述 ⚫ ALD 主业市占率保持领先，不断拓展品类，营收、净利润高增。光伏领域，公司 ALD 设 备的市场占有率继续保持领先，产品矩阵不断丰富，提供 ALD、PECVD、PEALD、扩散 退火等多种定制化产品和 TOPCon 整线工艺解决方案，实现了对 TOPCon 产线真空类设 备的全覆盖。在 TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布 局和出货。其中，公司应用于 XBC 和钙钛矿叠层电池的设备获得客户验收，钙钛矿领域 获得国内客户百兆瓦级量产设备订单。半导体领域，公司 ALD 设备保持领先优势，ALD、 CVD 设备均取得大厂重复订单。 ⚫ 公司 2023Q1 末进行股权激励，2023/2024 年股权激励费用分别为 1.1、0.96 亿元，考虑 股份支付费用后 ...