盛美上海：高温单片SPM&超临界CO2+炉管ALD，先进薄膜PECVD，KrF Track驱动新成长

证券研究报告：电子 | 公司点评报告 2024年6月10日 股票投资评级 盛美上海(688082) 高温单片 SPM&超临界 CO2+炉管 ALD，先进薄膜 买入|维持 PECVD，KrF Track 驱动新成长 个股表现 ⚫ 事件 5 月 22 日，公司推出用于先进封装的带框晶圆清洗设备，该 盛美上海 电子 设备可在脱粘后的清洗过程中有效清洗半导体晶圆。 2% -3% -8% ⚫ 投资要点 -13% -18% 带框晶圆清洗设备丰富先进封装布局，预计先进封装营收占 -23% 比将在 10%-15%左右。5 月 22 日，公司推出用于先进封装的带框 -28% -33% 晶圆清洗设备，该设备可在脱粘后的清洗过程中有效清洗半导体 -38% 晶圆。带框晶圆清洗设备的创新溶剂回收系统具有显著的环境与 -43% 2023-06 2023-08 2023-11 2024-01 2024-03 2024-06 成本效益，该功能可实现近 100%的溶剂回收和过滤效果，进而减 资料来源：聚源，中邮证券研究所 少生产过程中化学品用量；公司携手一家中国集成电路制造商， 已完成双方首台合作设备的安装和验证工作。目前，公司具备全 公司基 ...