自动 FOUP 清洗机（ Automatic FOUP Cleaner ）是半导体制造行业专用的精密清洗设备，主要用于对晶圆存储与传输的核心 容器 —— 前开式统一晶圆传送盒（ FOUP ）进行自动化清洗。设备集成自动化搬运、精密喷淋清洗、超声波清洗、干燥净化 等先进技术，无需人工干预即可去除 FOUP 内外部表面、密封件及晶圆接触区域的微小颗粒、有机污染物、离子杂质等污染 物。其符合半导体行业严格的洁净室标准（如 1-10 级洁净室适配性），具备闭环清洗流程、无污染作业、实时洁净度检测等 特性，核心价值在于消除 FOUP 携带污染物导致的晶圆污染隐患，保障半导体器件制造过程中的良率与可靠性。 01 自动FOUP清洗机-全球市场规模、竞争格局 据 QYResearch 调研团队最新报告《全球自动 FOUP 清洗机市场报告 2025-2031》 显示，预计 2031 年全球 自动 FOUP 清洗机市场规模将达到 1.7 亿美元，未来几年年复合增长率 CAGR 为 3.9% 。 根 据 QYResearch 头 部 企 业 研 究 中 心 调 研 ， 全 球 范 围 内 自 动 FOUP 清 洗 机 生 产 商 ...