STREETS ■董事长专访 弥费科技缪峰： 用智能天车系统 助力晶圆"智"造 ◎记者 李兴彩 早在20世纪90年代，部分晶圆厂就实现了"黑灯工厂"，让半导体制造成为制造业皇冠上的明珠。其中， 最重要的一环是以天车（OHT）为核心，包括存储、净化、传感控制、集群调度控制等软硬件为一体 的自动物料搬运系统（AMHS），其犹如人体血管般，贯穿于半导体制造的每一个环节。但长期以来， 在AMHS领域，日本的村田和大福垄断了全球超过90%的市场份额。 为了探寻中国AMHS的发展之路，近日，上证报记者来到上海临港，走进国内领先的AMHS公司弥费科 技（上海）股份有限公司（简称"弥费科技"），对话公司创始人、董事长缪峰。 弥费科技的展厅内，长达2公里的高低起伏、曲折盘绕的轨道吸引了记者的注意。轨道上，几十辆小车 犹如一个个小胖墩，丝滑快速地前行、转向、转换轨道，并完成晶圆盒的取放动作。更为令人惊奇的 是，整套系统悬挂在天花板上。 "这个小车就是天车。天车系统不是半导体制造的核心设备，却是先进晶圆厂的关键设备。"缪峰开门见 山地介绍，随着半导体晶圆厂、先进封装厂自动化程度的提升，AMHS正变得越来越重要，OHT正是其 中核心 ...