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芯片制造自主可控
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凯世通低能大束流离子注入机过货量突破500万片 已支撑10余家国内12英寸产线量产
转自:新华财经 凯世通总经理陈克禄博士致辞(受访者供图) "过货量突破500万片大关这一里程碑既是对凯世通自主研发能力和机台产品力的实证,更是公司系统性能力跃升的集中体现。"凯世通总经理陈克禄博士表 示,凯世通五年来在技术研发、现场服务、生产能力、供应链体系、质量管控等全方位能力体系建设上取得显著进步。从一年几千片到每月50万片,再到如 今过货量突破500万片,凯世通使国产离子注入机从图纸走向产线,从"可用"迈向"好用"。 凯世通副总经理、首席技术官夏世伟致辞(受访者供图) 新华财经上海5月17日电(记者高少华)上海凯世通半导体股份有限公司16日宣布,凯世通国产低能大束流离子注入机12英寸晶圆产品片过货量突破500万 片。经过五年技术攻坚,凯世通实现了国产低能大束流离子注入机从样机研发、产线验证再到规模量产的跨越式发展,以关键核心技术自主创新打破国际企 业垄断并实现规模化替代,目前已支撑10余条国内主流12英寸集成电路产线安全量产,覆盖先进逻辑、先进存储、接触式图像传感器(CIS)以及功率芯片 四大核心领域,为我国芯片制造自主可控奠定基础。 离子注入机是芯片制造三大关键装备之一,开发难度仅次于光刻机,其中低能 ...