每经记者｜赵李南 每经编辑｜陈俊杰 7月18日，茂莱光学（SH688502，股价294.6元，市值155.55亿元）回复了上交所的《审核问询函》。 近期，茂莱光学正在递交可转债的发行材料，拟募资5.8亿元投向"超精密光学生产加工项目"等。 《每日经济新闻》记者注意到，茂莱光学此次回复披露了项目的细节，募投项目中包括年产仅7个的深 紫外物镜镜头，预测售价高达3428万元/个。 募投项目产能够10至15台深紫外光刻机用 2024年，茂莱光学获评高精度光学检测器件及系统的"单项冠军示范企业"。 据公告，茂莱光学的"超精密光学生产加工项目"拟使用募集资金约4.17亿元，预计实现内部收益率 16.51%，投资回收期（含建设期）为8.3年。 同时，上交所问及，结合拟生产产品报告期内产能及利用率、细分市场空间、预计客户及订单等情况， 要求说明"超精密光学生产加工项目"新增产能的合理性，是否存在产能消化风险。 茂莱光学回应称，公司此次募投项目计划年产深紫外光学器件300片、深紫外物镜镜头7个。 茂莱光学称，海外已实现量产的深紫外光刻机相关产业经验显示，单从曝光系统这一关键环节来看，每 台深紫外光刻机通常需配置1个深紫外物镜镜 ...