摘要 ： 近日，玉之泉推出的AOD紫外激光直写光刻系统亮相深圳光博会，吸引众多参会者驻足了解。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我们的推送。 在微纳制造领域，紫外激光直写光刻技术正持续推动着芯片、传感器和先进光学元件的高精度与柔性化发展。随着全球智能制造与高科技产业 升级，AR/VR、生物医疗和集成光子学等前沿应用的不断拓展，市场越发渴求兼具高分辨率、出色稳定性和高度灵活性的光刻解决方案。在这 一背景下，玉之泉推出的AOD紫外激光直写光刻系统，深度融合声光偏转技术、激光精密调控与闭环反馈微纳加工技术，可直接在基材上"书 写"任意二维/2.5维微纳结构，以其卓越的直写性能、广泛的工艺兼容性、智能化的加工模式及绝对的成本优势，剑指国际紫外激光直写光刻 技术之巅，开启了紫外激光直写微纳加工的全新范式。 该系统于近日亮相深圳光博会，吸引众多参会者驻足了解。 一、卓越的直写性能：精度与效率的平衡艺术 玉之泉研发的AOD紫外激光直写光刻系统，重新定义了精密加工的精度与效率边界。 1.超精细加工能力 系统搭载高分辨写头，最小特征尺寸可达250nm，能够 ...