证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-057 中微半导体设备（上海）股份有限公司 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称"中微公司"、 "公司"）近 日推出六款半导体设备新产品。这些设备覆盖等离子体刻蚀、原子层沉积及外延 等关键工艺，为中微公司加速向高端设备平台化公司转型注入新动能。为便于广 大投资者了解公司新产品情况，现将相关事项内容公告如下： 一、新产品基本情况 （一）刻蚀设备 在刻蚀技术方面，中微公司此次发布的两款新品分别在极高深宽比刻蚀及金 属刻蚀领域为客户提供了领先和高效的解决方案。 中微公司新一代极高深宽比等离子体刻蚀设备——CCP 电容性高能等离子 体刻蚀机 Primo UD-RIE基于成熟的 Primo HD-RIE设计架构并全面升级，配 备六个单反应台反应腔，通过更低频率、更大功率的射频偏压电源，提供更高离 子轰击能量，可以满足极高深宽比刻蚀的严苛要求，兼顾刻蚀精度与生产效率。 Primo UD-RIE引入了多 ...