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晶圆清洗装置
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华海清科申请一种晶圆清洗装置专利,可移除积聚于转动件的颗粒物
Jin Rong Jie· 2025-08-16 11:23
天眼查资料显示,华海清科股份有限公司,成立于2013年,位于天津市,是一家以从事化学原料和化学 制品制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析,华海清科股份有 限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目229次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息700 条,此外企业还拥有行政许可31个。 专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆清洗装置,其包括:槽体;支撑组件,位于所述槽体中,其为转 动件,用于竖向支撑并带动待清洗晶圆旋转;清洗刷,水平设置并绕其轴线滚动;清洁件,位于所述槽 体中,用于朝向转动件喷射流体,以移除积聚于转动件的颗粒物;所述清洁件的喷射方向与待清洗晶圆 的旋转方向相匹配。 金融界2025年8月16日消息,国家知识产权局信息显示,华海清科股份有限公司申请一项名为"一种晶圆 清洗装置"的专利,公开号CN120497163A,申请日期为2022年08月。 ...