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硬掩膜化学气相沉积设备(CVD)
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微导纳米:公司是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一
Xin Lang Cai Jing· 2025-10-23 13:34
微导纳米在互动平台表示,尊敬的投资者您好。自成立以来,公司一直坚持自主创新,助力国内半导体 产业的发展。公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备(ALD)应用于集成电路制造前道生 产线的国产设备厂商,是国内首批成功开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩膜化学气相沉积设备 (CVD)国产厂商,也是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一。 ...