自动物料搬运系统(AMHS)
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苏州新施诺:国产AMHS打通半导体制造“任督二脉”
Xin Hua Ri Bao· 2026-02-01 21:06
随着半导体制造工艺的演进,人工搬运在效率、洁净度与防震方面早已力不从心。新施诺AMHS成功实 现整体技术的自主可控,完成从初代产品到规模化交付的跨越。目前其迭代至第六代天车系统,可提供 整厂全栈解决方案:搬运重复精度达±0.5毫米,振动峰值控制在0.5G以下,关键取放设有多重防护;天 车直线最高速度每秒5.3米,抓放动作仅需数秒,即使长距离跨区跨层搬运,效率与稳定性也得以保 证。 比硬件更关键的是"大脑"。新施诺自主开发的调度软件,能处理每日数十万次搬运任务,通过算法规避 拥堵、优化路径,实现物料全程可追溯、数据实时可视化,让生产调度变得更加"聪明"和"灵活"。其模 拟仿真调度量已超1000台,压力测试达70万次/天。 新施诺总经理王宏玉说道:"我们将持续深耕半导体领域,通过技术创新不断提升国产化水平,助力产 业向高效、智能迈进。" □ 本报记者陈娴 如何在动辄数万平方米、工序上千道的半导体晶圆厂里,让数十万片晶圆在不同设备间精准、高效、无 损地流转?苏州新施诺半导体设备有限公司的自动物料搬运系统(AMHS)给出答案。 走进新施诺的测试线,天花板轨道纵横,被称为"天车"的空中悬挂式无人搬送车悄无声息地穿梭其 ...