内容概要：AMHS（自动物料搬送系统），也称为天车系统，主要用于快速准确按照工艺流程在生产设 备之间搬送装载晶圆。通过该系统，可以大幅度减少晶圆在各个工艺机台的等待时间，极大提升生产效 率，同时标准化的搬运过程可明显提高产品良率，通过无人化搬运减少人员误操作，降低人力成本，现 广泛应用于半导体硅片厂、芯片制造厂、芯片封装厂。芯片生产过程中呈现出晶圆尺寸不断扩大的趋 势，早期6英寸晶圆厂较少的采用AMHS系统，或采取部分区域的自动化方案，主要由于晶圆尺寸较 小，搬运难度不高，设备采购与维护成本高，工艺设备标准化程度低等。晶圆尺寸从6英寸逐渐发展至8 英寸、12英寸，重量也在不断增加，物料的安全搬运需求日益凸显，AMHS在12寸FAB厂已成为智能制 造的标配。随着全球半导体产业的转移，中国大陆的半导体产业得到飞速发展，晶圆厂建厂数量逐年增 加，使得AMHS赛道具有广阔的市场增量。中国AMHS行业发展迅速，2024年市场规模达86.9亿元，同 比增长38.5%，2025年行业规模有望突破百亿元。晶圆制造领域对生产条件要求严苛，超过1000道的生 产工序，紧凑的生产任务使得天车在厂内的运输频次高达10万次/天，对AM ...