报告发布方：中金企信国际咨询 中金企信国际咨询致力于"为政府部门、企事业单位及国内外各领域企业战略决策、产业规划、市场地位&市场占有率认证&证明、进入性研究、市场调查、 行研报告、数据分析、项目可行性&商业计划书、行业研究等提供全套解决方案"的专业咨询顾问机构。拥有"专业自建团队、自建数据库、各领域顾问团 队、官方与三方数据渠道等"集13年咨询平台10万+例各类项目经验优势，是国内领先的多元化咨询服务提供商之一。 在半导体制造领域，质量控制至关重要，ReviewSEM设备（缺陷复检设备，DR-SEM）作为电子束检测设备的重要分支，发挥着不可或缺的作用。它集成了 传统扫描电子显微镜（SEM）成像功能与自动化缺陷复查系统，广泛应用于半导体晶圆制造、光掩模检测以及高精密器件生产的质量控制环节。 电子束检测设备涵盖多种类型，除DR-SEM外，还包括电子束缺陷检测设备（EBI）。其中，ReviewSEM设备能够对检测机或缺陷检测系统预先标记出的微 缺陷，进行高分辨率图像采集与自动识别，实现对缺陷类型、尺寸、形貌的精准分类、分析和记录。与普通SEM相比，它具备自动导航、高通量图像采 集、AI缺陷分类以及与FAB生产系统联 ...