"量检测设备就是半导体制造过程中的'眼睛'，不仅要发现芯片存在的问题，还需要分析和解决问题的'大脑'。" 东方晶源微电子科技（北京）股份有限 公司（简称东方晶源）创始人、董事长俞宗强如此定义在半导体产业复杂生态中，量检测技术装备确保芯片制造高精度与高良率不可替代的作用。 在半导体制造领域，有着一个重要的共识：全球半导体产业的"后摩尔时代"，如果高端光刻机是先进制程的核心技术，那么良率管理就是决定晶圆厂生 死的生命线。业界有着一条不成文的生存法则：对于尖端的晶圆厂，1%的良率提升就意味着约1.5亿美元的利润，通常晶圆厂良率要达到85%以上才能顺利 量产，否则良率过低不仅意味着亏损，也代表其工艺劣质低效。 如果说先进制程代表晶圆厂技术的领先性，那么产品良率就代表着其产品的可靠性和经济性，芯片半导体进入"后摩尔时代"，先进制程不断逼近物理极 限，行业对良率管理的诉求愈发迫切，良率管理已被晶圆厂视为核心生命线，与先进制程的重要性不分伯仲。 放眼全球，在半导体制造国际竞争白热化的当下，良率管理成为衡量制造体系成熟度的核心标准。但长期以来，全球半导体量检测设备市场呈现 "高度 集中、寡头垄断"的格局，市场基本上垄断在科磊 ...

报告发布方：中金企信国际咨询 中金企信国际咨询致力于"为政府部门、企事业单位及国内外各领域企业战略决策、产业规划、市场地位&市场占有率认证&证明、进入性研究、市场调查、 行研报告、数据分析、项目可行性&商业计划书、行业研究等提供全套解决方案"的专业咨询顾问机构。拥有"专业自建团队、自建数据库、各领域顾问团 队、官方与三方数据渠道等"集13年咨询平台10万+例各类项目经验优势，是国内领先的多元化咨询服务提供商之一。 在半导体制造领域，质量控制至关重要，ReviewSEM设备（缺陷复检设备，DR-SEM）作为电子束检测设备的重要分支，发挥着不可或缺的作用。它集成了 传统扫描电子显微镜（SEM）成像功能与自动化缺陷复查系统，广泛应用于半导体晶圆制造、光掩模检测以及高精密器件生产的质量控制环节。 电子束检测设备涵盖多种类型，除DR-SEM外，还包括电子束缺陷检测设备（EBI）。其中，ReviewSEM设备能够对检测机或缺陷检测系统预先标记出的微 缺陷，进行高分辨率图像采集与自动识别，实现对缺陷类型、尺寸、形貌的精准分类、分析和记录。与普通SEM相比，它具备自动导航、高通量图像采 集、AI缺陷分类以及与FAB生产系统联 ...