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压电薄膜沉积工艺
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压电薄膜工艺,新突破!
半导体行业观察· 2025-08-03 03:17
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 图片来源:Empa 科学家们解决了薄膜电子学领域长期存在的一个难题。 我们被电子设备包围,以至于我们常常忽略了它们背后复杂的技术。像拿起智能手机这样简单的动 作,很少会促使我们去思考它背后的复杂性。在它的内部,数百个微型组件和谐地运转,每一个都以 惊人的精度和工程专业知识打造而成。 这些看不见的元件中包括射频 (RF) 滤波器。这些元件在确保只接收正确的信号(无论是通过 Wi-Fi 还是蜂窝网络)方面发挥着至关重要的作用。您使用的任何无线设备都依赖于这些滤波器才能正常工 作。其中许多滤波器依赖于压电薄膜,这种薄膜由对应力有独特响应的材料制成:它们在机械变形时 会产生电荷,并在施加电压时改变形状。 除了在射频滤波器中的作用外,压电薄膜对各种微电子元件也至关重要。它们通常用于传感器、执行 器,甚至微型能量收集系统。研究人员也在探索它们在量子技术等新兴领域的潜力。所有这些用途都 一致要求薄膜拥有卓越的品质。生产符合性能要求的薄膜很大程度上取决于所使用的特定材料和制造 工艺的精度。 Empa表面科学与涂层技术实验室的研究人员开发了一种新的压电薄膜沉积工艺。其创新之处在于 ...