集成电路装备国产化

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突破关键核心技术,河海大学仿生机器人团队助力半导体产业升级
Yang Zi Wan Bao Wang· 2025-08-23 23:30
在半导体设备制造领域,一项被国外长期垄断的关键技术迎来突破。记者近日从河海大学获悉,河海大学苏州研究院仿生机器人技术团队与企 业紧密合作,成功研发出"真空环境超洁净晶圆传送机械臂",并在半导体制造领域实现重要应用,为我国半导体设备整机装备制造解决了关键 技术难题。 徐林森说:"这项技术的产业化,不仅提升了企业的研发与管理水平,更推动了集成电路装备与机器人、智能制造技术的深度融合。"该成果将 加速集成电路装备国产化进程,助力培育产业创新新生态,为我国集成电路产业链自主创新能力提升提供核心支撑。 目前,该机械臂已成功导入多家行业标杆企业,在薄膜沉积、刻蚀等关键制程中稳定运行,设备工艺适配性获客户高度认可,累计实现销售收 入约1300万元。 与此同时,团队协助企业牵头编制《真空晶圆搬运机器人验收规范》团体标准,推动国产设备与国际规则对接;已获国家发明专利6件、实用 新型专利2件及软件著作权2项,构建起坚实的技术壁垒。 对于未来,团队表示将继续聚焦5G通信、人工智能芯片等高端应用领域,提供定制化传输解决方案。同时,依托在晶圆传送机械臂领域的技 术积累,创新性开展设备翻新与升级服务,打造"设备销售+增值服务"的双轮驱动 ...