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高密度存储设备
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打造下一代3D DRAM
半导体行业观察· 2025-08-25 01:46
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 该工艺本身采用先进的外延沉积技术,就像用气体绘画一样。硅烷和锗烷(含硅和锗的气体)在晶圆 表面分解,留下精确的纳米薄层。控制每层的厚度、成分和均匀性至关重要;即使是微小的偏差也会 在整个堆叠中传播,从而放大缺陷。 那么,为什么要付出这么多努力呢?在传统的 DRAM 中,存储单元是平面布局的,这限制了密度。 而垂直堆叠(3D)则可以在相同的占用空间内容纳更多的存储单元,从而在不增大芯片尺寸的情况 下提高存储容量。成功构建 120 个双层结构表明垂直扩展是可以实现的,这将使我们更接近下一代 高密度存储设备。 想象一下,每一层双层结构就像摩天大楼的一层,如果其中一层错位,整栋楼就会变得不稳定。通过 控制应变并保持各层结构均匀,研究人员有效地建造了一座由硅和硅锗组成的纳米级摩天大楼,每单 位面积可容纳数千个存储单元。 其影响远不止内存芯片。精确多层结构的生长技术可以推动3D晶体管、堆叠逻辑器件,甚至量子计 算架构的发展,在这些架构中,原子级层特性的控制至关重要。三星已经将3D DRAM列入其发展规 划,甚至为此设立了专门的研发机构。 来源 :内容 编译自 tomshar ...