加热盘驱动装置及薄膜沉积设备

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拓荆科技申请加热盘驱动装置及薄膜沉积设备专利,提高镀膜均匀性
Jin Rong Jie· 2025-08-01 05:43
天眼查资料显示,拓荆科技(上海)有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事零售业为主 的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆科技(上海)有限公司参与 招投标项目21次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息283条,此外企业还拥有行政许可29个。 金融界2025年8月1日消息,国家知识产权局信息显示,拓荆科技(上海)有限公司申请一项名为"加热 盘驱动装置及薄膜沉积设备"的专利,公开号CN120400807A,申请日期为2025年04月。 专利摘要显示,本发明公开了一种加热盘驱动装置及薄膜沉积设备,该薄膜沉积设备包括:腔体、加热 盘及其驱动装置,驱动装置包括驱动件、第一驱动轴和第二驱动轴,所述第一驱动轴的顶端与所述加热 盘的盘柄的底端固定连接,所述第一驱动轴与所述第二驱动轴套接,所述第一驱动轴和所述第二驱动轴 以及所述盘柄呈同轴设置,所述第二驱动轴的底端与所述驱动件的输出端固定连接,所述驱动件用于驱 动所述第二驱动轴旋转;其中,所述第一驱动轴的侧壁与所述第二驱动轴的侧壁之间设有旋驱升降结 构,用于在所述第二驱动轴的旋转驱动下带动所述第一驱动轴旋转和升降。由此加热盘可以 ...