以传统优势的氟化工为基础，延伸出的集成电路产业已是衢州重点布局的领域。 目前衢州已形成了以硅片、湿电子化学品、电子特种气体为主的产业集群，并在上游材料设备、下游器件模组应用等产业环节 均有布局。 稀散金属龙头先导科技集团是化合物半导体衬底产品的核心供应商，近年来频繁在衢州建设产能，衢州本地丰富的上下游资源 和营商环境成为其考量的重要因素。 21世纪经济报道记者邓浩 先导微电子基地负责人徐成对记者表示，"我们瞄准的是国产替代的产品，特别是国产替代还不充分的一些产品，比如硅基沉积 的乙硅烷，离子注入磷烷、砷烷、四氟化锗，ALD 或CVD掺杂乙硼烷等，在高端应用中还是以国外供应商为主；另外，高端金 属前驱体也基本是美国、日韩等国供应商为主，国产化有相当大的空间和想象力。" 在徐成看来，先导科技集团是本土企业，首先，可以更好地理解和响应客户需求；其次，先导科技集团在全产业链布局，有足 够的经验和技术，可以攻克产品的安全、品质和稳定供应问题， 也可以协助本土头部客户协作开发新工艺、新产品和新应用； 最后，相对于进口供应商，先导科技集团的完整解决方案可为其合作的客户提供更优的成本和更个性化的服务。 产能建设不断 满足国产 ...