本 文 中所指的半导体用真空闸阀，是一种应用于半导体制造设备的真空隔离阀组件。该阀通过闸板的直线运动实 现流路的启闭，可在真空腔体之间形成快速启闭、低泄漏、低颗粒污染的隔离屏障。 半导体用真空闸阀全球市场规模 为更精准地体现闸阀在半导体行业的应用场景与产品形态，本研究采用 " 闸板驱动式隔离 " 的界定范畴，具体涵 盖以下三类产品： 1. 腔室 / 负载锁定闸阀：用作腔室门阀、负载锁定腔隔离门阀及真空泵端隔离阀； 2. 狭缝 / 传输闸阀及传输门：安装于传输腔与工艺腔、负载锁定腔之间的晶圆传输接口（即矩形 " 传输狭缝 " 开口 处）。此类阀门在行业内常被称为狭缝阀、传输阀或真空传输门，因几何结构与接口适配要求，通常作为独立品 类编入产品目录，但从工程原理来看，仍属于闸板驱动式隔离阀； 3. 全金属密封闸阀：采用金属密封结构或全金属材质设计，适用于超高真空、真空烘烤、高温环境及高频率启闭 工况。 此类阀门在设备中的典型应用位置包括：工艺腔室门阀隔离、负载锁定腔隔离、传输腔与工艺腔 / 负载锁定腔之 间的狭缝 / 传输隔离，以及先进工艺或超高真空工况所需的全金属密封闸阀。 综上，真空闸阀是一类用于真空流路隔离与 ...