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等离子体射频电源及匹配器
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恒运昌(688785.SH):公司已启动了质量流量计的自研工作
Ge Long Hui· 2026-02-05 13:44
格隆汇2月5日丨恒运昌(688785.SH)近日在接待机构投资者调研时表示,真空泵与质量流量计均属于公 司引进业务。公司已启动了质量流量计的自研工作,争取加快自研质量流量计的研发落地和出货,以引 进业务带动自研产品的验证和销售。公司募投项目"研发与前沿技术创新中心项目"也将进行下一代等离 子体射频电源及匹配器、电源类新品、质量流量计、等离子体设备相关衍生产品等产品及技术的研究。 ...
恒运昌:公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创等半导体设备商
Ge Long Hui· 2026-02-05 13:41
格隆汇2月5日丨恒运昌(688785.SH)近日在接待机构投资者调研时表示,拓荆科技于2018年与公司开展 等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作,历经2年多的合作验证,公司产品于2020年下半年开 始逐步批量交付拓荆科技。公司与拓荆科技合作范围不断扩展至PEALD 设备、HDPCVD 设备及先进封 装的键合设备领域,相关设备目前均在持续推进等离子体射频电源系统的合作验证工作。 此外,公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等半导体设备商。公司正在 为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器。2025年 上半年,公司还实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破。公司还为 国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器,客户结构持续多元化。 ...
恒运昌(688785.SH):公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创等半导体设备商
Ge Long Hui· 2026-02-05 13:37
格隆汇2月5日丨恒运昌(688785.SH)近日在接待机构投资者调研时表示,拓荆科技于2018年与公司开展 等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作,历经2年多的合作验证,公司产品于2020年下半年开 始逐步批量交付拓荆科技。公司与拓荆科技合作范围不断扩展至PEALD 设备、HDPCVD 设备及先进封 装的键合设备领域,相关设备目前均在持续推进等离子体射频电源系统的合作验证工作。 此外,公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等半导体设备商。公司正在 为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器。2025年 上半年,公司还实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破。公司还为 国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器,客户结构持续多元化。 ...