薄膜钽酸锂调制器
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硅光,两项全球首创
半导体行业观察· 2026-03-28 01:12
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 云计算与人工智能的普及催生海量数据流,推动数据中心内部及跨中心对超高速、低能耗光互联链 路的需求激增;这类链路的数据传输速率必须大幅超越当前 200 吉比特每秒(200Gb/s)的通用标 准。将新材料异质集成至硅光平台,可打造面向短距、短途互联的下一代电光调制器与光电探测 器。 铌酸锂(LiNbO₃)是极具代表性的优质材料,凭借极高的电光系数,非常适配高速光通信系统。 另一热门材料为钽酸锂(LiTaO₃),其优势在于电光稳定性优异、损伤阈值高且具备紫外透光 性,适用于高功率、温敏场景,以及短波长工作的光通信设备。 但两类材料均含锂元素,难以兼容主流 CMOS 制造工艺;同时,将高速光电探测器等其他器件与 这类材料集成,技术落地难度极大。 为攻克上述难题,业内正在探索多种集成方案。晶圆键合技术虽已在铌酸锂器件上实现验证,但成 本高昂、效率偏低 —— 键合后需剥离绝大部分基材,还要增设大量后续加工工序。如今,比利时 微电子研究中心(imec)推出微转印技术,可将铌酸锂、钽酸锂高效异质集成至硅光平台,成为 极具潜力的新方案。 全球首创:微转印技术实现薄膜铌酸锂调制器硅 ...