很多人不知道，中国其实是世界上最早开始生产光刻机的国家之一。 六十年代中期，中国科学院就已经研制出了65型接触式光刻机。七十年代，武汉无线电元件 三厂还编写了《光刻掩模版的制造》一书，系统总结了工艺方法。那时的中国，在光刻机技 术上与日本几乎同步，比韩国和台湾整整早了十年。至于今天被捧上神坛的 ASML ，当时不 过还是个小字辈，连影子都没有。 那个时代的科学家们，凭借着那股子自力更生的劲头，在最艰难的条件下，把光刻机、芯片 离子注入机、精密压力机等一批高精尖设备硬生生做了出来。宝鸡的4503厂、商州的 877厂 ，就是那股子火红年代的产物。 4503厂，原第四机械工业部在大三线建设中筹建的重点单位，人员来自南京、无锡、上海等 地的老牌军工厂。这个厂在七十年代中期就研制出了第一代半导体集成电路专用设备样机 ——光刻机。它不是摆设，而是真刀真枪地被各大科研单位使用，得到了高度评价。此后又 相继推出第二代、第三代，把与国际的差距一步步缩小。甚至有些领域，还一度走在前面。 与此同时，877厂国营卫光电工厂也在拼命攻关。1968年12月在陕西商州动工建设，主要技 术人员来自北京、上海、沈阳等地。这个厂生产过逻辑电路集 ...