风险提示：光刻产业国产化进度不及预期风险;海外制裁加剧风险;行业竞争加剧风险;下游需求不及预期 风险;重点关注公司业绩不及预期;研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险。 核心部件是光刻产业关键壁垒 对于投影光学光刻机，主要部件包括光源、照明、物镜、工件台、调焦调平、对准等，EUV光刻机特 征显著，体现在材料选择、多层反射膜结构、反射式投影系统、大功率光源以及磁悬浮工件台等方面。 对于光刻机核心部件，加工流程复杂、设备种类较多，是产业重要壁垒之一。该行测算，2025E全球光 刻机市场规模为293.7亿美元，照明+物镜、光源、工件台、其他部件市场规模为47.8、28.6、21.5、45.2 亿美元;2025E全球EUV光刻机市场规模为96亿美元，EUV光刻机的照明+物镜、光源、工件台、其他部 件市场规模为15.5、12.6、7.0、11.5亿美元。 技术变革+产业协作是ASML的成功要领 开放与合作是光刻机发展的主旋律，ASML的供应商遍布全球。1)Zeiss：百年光学巨头，ASML重要合 作伙伴;2)Cymer：主导全球光刻机光源市场，已被ASML收购;3)Gigaphoton：激光器光源领先 ...