证券日报网讯1月14日，芯源微在互动平台回答投资者提问时表示，公司前道化学清洗设备机台搭载独 立开发的新一代高清洗效率低损伤射流喷嘴，具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项 核心优势；前道物理清洗设备配置低损伤雾化清洗喷嘴与低损伤清洗毛刷，可广泛应用于国内前道晶圆 制造领域；后道单片湿法设备包括清洗机、去胶机、刻蚀机等湿法类设备，可广泛应用于来料清洗、 TSV深孔清洗、Flux清洗等清洗、去胶及lift-off剥离工艺及多种介质层湿法刻蚀工艺。未来公司将持续 提高清洗设备产能，研究开发化学清洗关键技术，进一步优化单元和整机设计。 ...